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石英坩埚在工业领域的使用十分广泛,但因其材质特殊、产品质脆、易破等缘故,在使用过程中稍不注意,就会造成破裂,不仅会影响美观还会降低质量,造成破裂的原因有哪些呢?
1、加工缺陷:这类原因造成断裂后表现一般是从接缝处开裂,然后蔓延开。
2、二次结晶:上部硅料熔化后沿着内壁向下流到底部时往往会因底部温度过低而发生“二次”结晶,硅料在“二次”结晶时发生膨胀而将石英坩埚胀裂。
3、底部翻料后漏硅:当上部熔硅液体沿埚壁流到坩埚底部时将底部块料和石英坩埚粘连在一起,当上部硅料完全熔化成液体后,对底部的块料形成浮力,当浮力大到足以将未熔完的块料脱离与之粘连的底部时,往往能将坩埚拉破。
4、熔料的温度不当:溶料的温度太高会加剧析晶的程度,增加了破裂的可能性。
5、原料问题:原料的杂质太多或在原料的清洗和装填过程中受到沾污,会产生侵蚀作用,严重时熔硅会渗透到坩埚内层。
6、新的坩埚煅烧不够彻底即投入使用会造成外层严重析晶。
7、因使用时间过长,其原有的厚度氧化降解而大为减薄。
8、在放入时用力过量,底部受到损伤而产生隐裂。
9、在装底部料时大块的硅料撞击到底部产生隐裂。
10、坩埚上部装入太多的大料,熔料过程中发生塌料时易将坩埚底部撞破导致漏硅。
11、因受到外力损伤已产生隐裂,熔料过程中发生破裂。
12、在运输中受到损伤而产生隐裂。