产生含SiO↓颗粒并且这些颗粒被沉积在载体上,同时形成具有多孔烟灰壁的烟灰管,所产生烟灰壁具有预定的径向烟灰密度分布,该烟灰管在含氯环境中被处理接着再被玻璃化。这说明在脱水处理后在含氯环境中也能获得预定的径向折射率分布,所以在烟灰壁的一个内部区域内调节形成一个是石英玻璃密度的25%的较高密度区域,火焰水解制造石英玻璃时。并在一外部区域内调节形成一个较低的密度区域,并且在邻接该内部区域的一个过渡区域内,调节形成一个朝着该外部区域递减的密度区域。
其中,该过渡区域分布在该烟灰壁厚度的不低于75%的范围里。通过此法生产的管状半成品的特征体现在烟灰壁,该烟灰壁在一个内部区域内具有为石英玻璃密度的25%的较高的密度区,并且在一个外部区域内具有较低的密度并在邻接该内部区域的一个过渡区域内具有朝向该外部区域减小的密度区,其中,以上所述过渡区域分布在该烟灰壁厚度的不低于75%的范围里。
石英玻璃管在半导体工业设备上,使用温度经常在1000℃到1300℃之高温状态,在此种状态下由于附著不纯物导致失透现象发生,失透之部分为石英之晶质化,晶质化之变态点为275℃,当石英玻璃自高温降自此变态温度时,表面失透之晶质化部分与石英玻璃本身高温之α相与低温之β相间膨胀系数不同在急速冷却下产生不透明之剥离状更严重时会造成破裂现象产生。
为使石英制品能使用更久,就必须注意防止造成石英失透产生的原因,而造成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃……等等。
且0.1mg/cm2l}k就会造成数十倍或数百倍的失透量。因此,防止这些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外,使用在高温作业之前必先做清洗之工作以确保石英表面之洁净度。一般石英之洗净须要一些程序首先用纯水先冲洗表面,再置入酸洗槽内浸泡一些时间,取出后再用纯水冲洗后晾干。